Через впровадження вакуумних технологій в багатьох промислових сферах необхідне використання вакуум-містких пристроїв і робочих рідин для них. Без якісних робочих вакуумних рідин неможливе створення вакууму, тому що в істотній мірі ступінь досягаємого вакууму залежить від властивостей експлуатації. Вибираючи вакуумну рідина, потрібно брати до уваги характеристики насосів, сумісність рідин з обладнанням для її перекачування, що відкачується середовищем і ущільнювальними матеріалами конструкції.
Вакуумне мастило повинно мати знижену пружність пари при робочих температурах в насосі і термічну стійкість, і бути хімічно інертним до відкачуваних газів і кисню повітря.
В основному, вакуумні мастила застосовуються в об'ємних вакуумних насосах (механічних з масляним ущільненням, високовакуумних паромасляних, пароструминних, бустерних паромасляних і для наповнення рідинних вакуумметрів). У вакуумній техніці часто використовуються вакуумні кремнійорганичні мінеральні мастила.
Вибираючи вакуумну рідину, крім характеристик насосів, враховувати також потрібно сумісність рідини з апаратами для перекачування, що відкачується середовищем і ущільнювальними матеріалами. Наприклад, за рахунок використання вакуумного масла для механічних насосів поліпшується герметизація робочих камер, знижуються втрати потужності на тертя. Якісні показники вакуумних масел для механічних насосів оцінюються за такими критеріями:
- досить знижений тиск насичених парів (він впливає на ступінь досягається вакууму і випаровуваність масла);
- підвищена гидролитическая стабільність при відкачуванні повітря і парів;
- оптимальна в'язкість в певних випадках (їй побічно визначаються ущільнюючі і смазочні властивості робочих рідин);
- екологічна безпека;
- невелика газорозчинність.